Basistechnologie des Unternehmens
NanoScale Systems verfügt über ein langjährig entwickeltes spezielles Know-how in der softwaregesteuerten Fertigung von hochauflösenden Nanostrukturen sowie in der Markteinführung von neuen Produktgenerationen im Bereich der Mikrosystemtechnik und Oberflächentechnologien.
Hierbei bildet unsere einzigartige Prozesstechnologie (Direktabbildung mit Hilfe von hoch fokussierten Elektronen- und Ionenstrahlen (EBID/IBID) die ideale Plattform für die Bereitstellung von neuartigen Applikationen mit mikro- und nanotechnologischem Hintergrund. Durch die konsequent fortgeführte Verschmelzung konventioneller Halbleitermethoden mit alternativen „Bottom-up“-Technologien stellen wir neue Werkzeuge für die Manipulation, Visualisierung und Messung von Objekten bis hin zur molekularen und atomaren Skala bereit.
Dieser neue Weg ermöglicht uns eine beispielslose und mit Nanometerpräzision garantierte Fertigung von funktionalen Strukturen und Materialien, die Systemabmessungen deutlich unterhalb von 50 Nanometern besitzen und Kantengenauigkeiten im Bereich von 1 bis 3 Nanometern aufweisen. Bedingt durch ihre nanokristalline Beschaffenheit verfügen diese – in der Natur nicht vorkommenden – Verbundmaterialien (Nanokomposite) zudem über verbesserte Eigenschaften, die den konventionellen Werkstoffen in vielerlei Hinsicht überlegen sind.
Im Gegensatz zu den meisten verbreiteten Mikrostrukturierungstechniken wird für die von uns weiterentwickelte Technologie keine halbleiterbasierende Arbeitsumgebung (Reinraum) benötigt. Durch den Verzicht auf die Verwendung von Photomasken und Silizium als Trägermaterialien reduzieren wir zudem die Vielzahl der normalerweise benötigten komplexen und fehleranfälligen Prozessschritte auf wenige einzelne Stufen und stellen somit – bereits beim Herstellungsprozess – hohe Flexibilität und eine spürbare Zeitersparnis sicher. Diese Vorteile prädestinieren das Verfahren besonders für jene kritischen Bereiche, bei denen es in der Entwicklung und dem Testen von neuen Mikrostrukturanwendungen (beispielsweise von Computerchips) vor allem auf rasche Ergebnisse und Kostenreduzierung ankommt (Rapid Prototyping).